Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm
Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
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Par: Jean-Claude Sabonnadière , Jean-Pierre Goure , René Le Doeuff , Jean-Louis Aucouturier , Joseph Borel , René Castagné , Michel De Labachelerie , De Labachelerie Michel .
Par: Jean-Claude Sabonnadière , Jean-Pierre Goure , René Le Doeuff , Jean-Louis Aucouturier , Joseph Borel , René Castagné , Michel De Labachelerie , De Labachelerie Michel .
105,00EUR
Catégories:
SCIENCES FONDAMENTALES [auto].
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrice...
| Disponibilité: | Disponible |
|---|---|
| Format: | PDF | 326 Pages |
| Date de publication: | 2008-06-01 |
| Éditeur: | Hermes Science Publications |
| Langue: | Français |
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