Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré
Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
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Par: Jean-Claude Sabonnadière , Michel De Labachelerie , René Le Doeuff , Jean-Pierre Goure , Jean-Louis Aucouturier , Joseph Borel , De Labachelerie Michel , René Castagné .
Par: Jean-Claude Sabonnadière , Michel De Labachelerie , René Le Doeuff , Jean-Pierre Goure , Jean-Louis Aucouturier , Joseph Borel , De Labachelerie Michel , René Castagné .
105,00EUR
Catégories:
SCIENCES FONDAMENTALES [auto].
Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisa...
| Disponibilité: | Disponible |
|---|---|
| Format: | PDF | 330 Pages |
| Date de publication: | 2008-06-01 |
| Éditeur: | Hermes Science Publications |
| Langue: | Français |
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